超级工业黑科技系统

　　就是老板娘。”李树笑着，往马瑶脸颊上亲了一下。

　　“死木头，油嘴滑舌。”马瑶推开李树道。

　　和马瑶说了一番情话之后，李树从公文包里拿出早已准备好的两份计划书。

　　今天目标有二，都不轻松，都需要根据目标划分任务。

　　目标一：深紫外光光刻机用显微镜镜头改进研发，针对新改进的光刻机光源对镀膜进行新的调整。

　　步骤：对镀膜所需材料进行细微调整，对蒸馏设备和高压电子枪的参数设定进行动态调整，使其满足新的光源属性，对精度进行进一步的优化调整。

　　目标二：极紫外光光刻机用显微镜镜头理论验证和制造研发。

　　理论步骤，第一步,光源产生短脉冲激光光束作为种子光，使其多级放大并产生预脉冲和主脉冲。

　　预脉冲首先击中锡珠，使它变成正确的形状，随后主脉冲将压扁的锡珠转化为等离子体，从而发射出满足条件的EUV光。

　　EUV光刻步骤：

　　1）激光脉冲被放大到非常高的功率，输出超过30kW平均脉冲功率的激光。

　　2）不断滴下的锡珠被激光束击中成为一个发光的等离子体，发射出波长为指定数值的的EUV光。

　　3）极紫外光聚焦后，通过反射透镜首先传输到光刻掩模上，然后照射到晶圆基片上。

　　技术难点：

　　1）放大阶段会不断增加它的功率，但必须确保两个光束在锡珠上有正确的聚焦，同时还要满足其他光学性能。

　　2）由于每束脉冲激光都由非常微小的、紧凑的光粒子组成，需要紧紧地抛向锡珠为了正确地击中它们的目标，它们必须在正确并精确的瞬间到达；否则，冲击力将无法压平锡珠。

　　3）激光束以极大的功率稳定传输，同时还要准确无间的和其他部件协作，系统的复杂性极高，研究光源的同时，其他部分也需要同时开启研发。

　　从这两个目标的大纲规划来看，第一个目标相对容易，有现成的研究成果支撑，只需要不断的调整即